Halbleiterindustrie

Für Prototypen, Anlagenbau und Serienfertigung

In der Halbleiterfertigung entscheiden Mikrometer über Prozesssicherheit und Ausbeute. Ob Wafer positioniert, Optiken justiert oder Prozessmodule verfahren werden – präzise Bewegungen sind die Grundlage moderner Fertigungsanlagen. Gleitgewindetriebe ermöglichen feinfühlige Verstellungen mit hoher Wiederholgenauigkeit und lassen sich optimal an die Anforderungen von Reinraum-, Vakuum- und Analyseanwendungen anpassen.

Die Auslegung macht´s

Sind Anforderungen an Positioniergenauigkeit, Axialspiel, Lebensdauer oder Umgebungsbedingungen definiert, entwickeln wir die passende Lösung. Bereits in der Konstruktionsphase unterstützen unsere erfahrenen Ingenieure bei der Auswahl von Gewindegeometrie, Werkstoffen, Schmierung und Beschichtung. Durch die präzise Abstimmung von Gleitgewindespindel und Mutter entstehen langlebige Antriebskomponenten mit konstantem Bewegungsverhalten – auch unter anspruchsvollen Reinraum- und Vakuumbedingungen.